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高纯微晶微粉—以高纯铸性能
发布时间：
2026-08-20
高纯微晶微粉具有机械强度高、硬度大、耐高温、耐腐蚀等优良性能在机械、电子、集成电路、医学等领域得到广泛的应用。
01半导体设备精密部件
例如在半导体刻蚀设备中，主要采用高纯Al₂O₃涂层或Al₂O₃陶瓷作为刻蚀腔体和腔体内部件的防护材料。除了腔体以外，等离子体设备的气体喷嘴，气体分配盘和固定晶圆的固定环等也需用到高纯微晶微粉。再例如在晶圆抛光工艺中，高纯微晶微粉可被广泛应用于抛光板、抛光磨垫校正平台、真空吸盘等。
02机械方面
高纯微晶微粉具有优良的机械性能，可将其用作磨轮、陶瓷钉等，其中应用最为广泛的是高纯氧化铝陶瓷刀具和高纯氧化铝瓷球。
03电子、电力方面
高纯微晶微粉的高频介电损耗小，绝缘性能优良，可用于制备绝缘性器件、陶瓷基板及透明氧化铝陶瓷等。其中，应用比较广泛的为陶瓷基板与透明氧化铝陶瓷，在许多特种光学仪器、照明设备及空间卫星设备等方面得到越来越广泛的应用。
LED氧化铝陶瓷电路板
陶瓷基板方面，氧化铝陶瓷基片是当代电子信息产业中应用最广的基板材料，是集成电路芯片的基础材料。例如在LED照明领域，主流基板的热膨胀系数为14~17×10-6/K，在温差过大、温度剧变的情况下，PCB会比芯片封片封装膨胀得更剧烈，导致脱焊问题。在这种困扰之下，氧化铝陶瓷基板的热膨胀系数和芯片的热膨胀系数更为接近，能有效避免类似情况。
与玻璃相比，透明氧化铝陶瓷具有更高的强度，硬度以及韧性，而且其优良的抗表面磨损性能也是玻璃无法媲美的；而与单晶材料相比较，制备温度要更低，生产周期也更短，使其在光学、特种仪器的制备、照明、电子技术、高温技术、国防军事以及航空航天等领域都获得了极为广泛的应用。例如，利用高纯微晶微粉的透光性、耐腐蚀性和高温稳定性，可以将其制作成发光电弧管应用于高压钠灯。
04医学方面
生物医学材料可以对人体机能进行修复但不会对人体产生不良特性，医疗卫生组织对生物医用材料的要求非常严格。不仅要求材料具有生物相容性，也需具备无毒、环保耐用等特性。高纯微晶微粉因具有的良好的生物相容性、机械性能以及化学稳定性，将其植入人体，不会引起人体的排斥反应，可广泛用于制备人造骨、螺栓及人造关节等，在临床和科研上已经得到认可。
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